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超纯水：既将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于10～18.3MΩ*cm极限值。
超纯水,是一般纯水设备很难达到的程度，通常采用预处理、反渗透技术、去电离子（EDI）装置超纯化处理以及后级处理四大步骤，多级过滤、高性能离子交换（抛光）、超滤过滤器、紫外线灯、除TOC装置等多种处理方法，电阻率方可达18.25MΩ*cm。
应用领域：
食品行业：食物饮用纯净水、饮料、啤酒、白酒、奶茶、品等用纯水；
医药行业：制药、病院、实行室用的输液、针剂、片剂、生化成品等用高纯水；
电子行业：集成电路、单晶硅、管、电极箔等电子元器件冲刷水；
化工行业：冶金、化工、发电厂及大、中型工矿企业汽锅补给水；
汽车行业：汽车、家电产物涂漆、玻璃镀膜、化妆品、精密品等用纯水；
